Chemical Vapour Deposition - 9780854044658

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD) obejmuje osadzanie cienkich stałych warstw z prekursorów chemicznych w fazie gazowej i obejmuje różnorodne techniki osadzania, w tym szereg procesów termicznych, CVD wzmocnione plazmą (PECVD), CVD inicjowane fotonami i metody atomowe osadzanie warstw (ALD). Rozwój technologii CVD w dużej mierze zawdzięcza współpracy między różnymi dyscyplinami naukowymi, takimi jak chemia, fizyka, inżynieria materiałowa, inżynieria i mikroelektronika, a publikacja tej książki będzie promować i stymulować ciągły dialog między naukowcami z tych różnych obszarów badawczych. Książka ta jest jednym z najbardziej kompleksowych przeglądów kluczowych aspektów procesów chemicznego osadzania z fazy gazowej, jakie kiedykolwiek napisano, jest też bardziej wszechstronna, szczegółowa technicznie i aktualna niż inne książki na temat CVD. Wszyscy autorzy publikacji są praktykującymi technologami CVD i czołowymi międzynarodowymi ekspertami w dziedzinie CVD. Przedstawia logiczny i progresywny przegląd różnych aspektów procesów CVD. Podstawowe pojęcia, takie jak różne typy procesów CVD, projektowanie reaktorów CVD, modelowanie reakcji i chemia prekursorów CVD są omówione w kilku pierwszych rozdziałach. Następnie następuje szczegółowy opis zastosowania różnych technik CVD do osadzania szerokiej gamy materiałów, w tym półprzewodników, metali, tlenków i azotków metali, powłok ochronnych i powłok funkcjonalnych na szkle. Na koniec, w wyjątkowy sposób, w kontekście technicznym, omówiono także przemysłowe i komercyjne aspekty CVD wraz z możliwymi przyszłymi trendami, co jest niezwykłym, ale bardzo ważnym aspektem tej książki. Książka została napisana z myślą o osobach zajmujących się CVD, takich jak chemik chcący dowiedzieć się więcej o procesach CVD lub technolog CVD pragnący zdobyć większą wiedzę na temat chemii prekursorów. Tom ten okaże się szczególnie przydatny dla osób, które niedawno rozpoczęły pracę w tej dziedzinie, a także będzie cennym wkładem w wykłady z chemii i inżynierii materiałowej na poziomie licencjackim i podyplomowym.