High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications - 9780306473500

Autorzy próbowali w tej książce przedstawić odniesienia do skupionych wiązek jonowych o wysokiej rozdzielczości (FIB), które powinny być przydatne zarówno dla użytkownika, jak i projektanta oprzyrządowania FIB. Obejmowały one mieszankę teorii i zastosowań. Dziedzina FIB szybko się rozwinęła od czasu zastosowania pierwszych polowych źródeł emisji jonów na początku lat siedemdziesiątych. Rozwój źródła jonów ciekłego metalu (LMIS) pod koniec lat sześćdziesiątych i na początku siedemdziesiątych XX wieku oraz jego zastosowanie w FIB pod koniec lat siedemdziesiątych zaowocowało potężnym narzędziem dla badań i przemysłu. Autorzy starali się omówić podstawowe tematy potrzebne do zrozumienia, czym jest technologia FIB, jak i dlaczego działa oraz w jaki sposób jest stosowana. W tym celu dołączyli rozdział poświęcony fizyce LMIS, który zawiera praktyczne informacje na temat tych ważnych źródeł jonów, oraz dwa rozdziały zawierające wprowadzenie do optyki jonowej i praktyczne omówienie optyki jonowej stosowanej obecnie w systemie FIB . Ponieważ FIB są tak często wykorzystywane do zmiany materiałów, zamieściliśmy rozdział poświęcony oddziaływaniu jonów z materią. Ostatni rozdział stanowi kompleksowe omówienie zastosowań FIB do roku 2000.