High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications - 9780306473500

Autorid on selles raamatus püüdnud luua viiteid kõrge eraldusvõimega fokuseeritud ioonkiirte (FIB) kohta, mis peaksid olema kasulikud nii FIB-seadmete kasutajale kui ka kujundajale. Need on sisaldanud segu teooriast ja rakendustest. FIB-de valdkond on pärast esimeste väliemissiooni iooniallikate rakendamist 1970. aastate alguses kiiresti arenenud. Vedelmetalli iooniallika (LMIS) väljatöötamine 1960. aastate lõpus ja 1970. aastate alguses ning selle rakendamine FIB-de jaoks 1970. aastate lõpus on andnud tulemuseks võimsa vahendi teadusuuringuteks ja tööstuses. Autorid on püüdnud käsitleda olulisi teemasid, mida on vaja, et mõista, mis on FIB-tehnoloogia, kuidas ja miks see töötab ning kuidas seda rakendatakse. Selleks on nad lisanud LMIS-i füüsika peatüki, mis sisaldab praktilist teavet nende oluliste iooniallikate kohta, ja kaks peatükki, mis annavad sissejuhatuse ioonoptikasse ja praktilise arutelu ioonoptika kohta, nagu seda tänapäeval FIB-süsteemis kasutatakse. . Kuna FIB-e kasutatakse nii sageli materjalide muutmiseks, on nad lisanud peatüki ioonide ja aine vastastikmõju kohta. Viimases peatükis käsitletakse kõikehõlmavat FIB rakendusi kuni 2000. aastani.