High Resolution Focused Ion Beams: FIB and its Applications - 9780306473500

Autori šajā grāmatā ir mēģinājuši izveidot atsauci uz augstas izšķirtspējas fokusētiem jonu stariem (FIB), kam vajadzētu būt noderīgam gan FIB instrumentu lietotājam, gan izstrādātājam. Tie ir iekļāvuši teorijas un lietojumu sajaukumu. FIB joma ir strauji attīstījusies kopš pirmo lauka emisijas jonu avotu izmantošanas 1970. gadu sākumā. Šķidro metālu jonu avota (LMIS) izstrāde 1960. gadu beigās un 70. gadu sākumā un tā pielietošana FIB 1970. gadu beigās ir radījusi spēcīgu rīku pētniecībai un rūpniecībai. Autori ir mēģinājuši aptvert būtiskās tēmas, kas nepieciešamas, lai saprastu, kas ir FIB tehnoloģija, kā un kāpēc tā darbojas un kā tā tiek pielietota. Šim nolūkam viņi ir iekļāvuši nodaļu par LMIS fiziku, kas ietver praktisku informāciju par šiem svarīgajiem jonu avotiem, un divas nodaļas, kas sniedz ievadu jonu optikā un praktisku diskusiju par jonu optiku, kā to šodien izmanto FIB sistēmā. . Tā kā FIB tik bieži izmanto materiālu mainīšanai, tie ir iekļāvuši nodaļu par jonu mijiedarbību ar vielu. Pēdējā nodaļa ir visaptverošs FIB lietojumprogrammu pārklājums līdz 2000. gadam.