MEMS - 9781466515819

Mikroelektromehaaniliste süsteemide (MEMS) tööstus on viimase kümnendi jooksul plahvatuslikult kasvanud. Rakendused ulatuvad autoohutuses kasutatavatest kiirendusmõõturitest ja güroskoopidest kuni ülitäpsete kiibile integreeritud ostsillaatoriteni võrdlusgenereerimiseks ja mobiiltelefonides. MEMS: Fundamental Technology and Applications koondab MEMS-tehnoloogia murrangulised uuringud ja uurib eklektilist uudsete rakenduste komplekti, mida tehnoloogia võimaldab. Raamatus on kaastöid tööstuse ja akadeemiliste ringkondade tippekspertidelt kogu maailmast. Kaastöötajad selgitavad teoreetilist tausta ja annavad praktilisi teadmisi tehnoloogia rakendamisest. Nano-mikrosüsteemide ajaloolisest arengust kuni viimaste suundumusteni süvenevad nad sellistesse teemadesse nagu: Õhukese kilega integreeritud passiivid kui alternatiiv diskreetsetele passiividele; Piesoelektriliste MEMS-i lahendused MEMS-güroskoopidele Täiustatud ühendustehnoloogiad Ümbritseva energia kogumine Hulgi akustiliste lainete resonaatorid Ultraheli vastuvõtja MEMS-andureid kasutavad massiivid Optilised MEMS-põhised spektromeetrid MEMS-resonaatorite integreerimine tavapärase vooluringiga Kantav inertsiaalne ja magnetiline MEMS-anduri koost jäikade keha liikumismustrite hindamiseks Juhtmevabad mikroajamid, mis võimaldavad siirdatavaid MEMS-seadmeid ravimite kohaletoimetamiseks MEMS-tehnoloogiad puutetundlikuks tuvastamiseks ja käivitamiseks robootikas MEMS-põhised mikrokuumplaadiseadmed Integreeritud traadita vooluringiga inertsiaalsed mõõtühikud, mis võimaldavad mugavat ja pidevat jälgimist. Andurid, mis kasutavad juhtmega ja traadita süsteemides passiivseid akustoelektrilisi seadmeid Kaasautorid tuvastavad kogu aeg väljakutsed ja esitavad küsimusi, mis vajavad lahendamist, sillutades viis uute rakenduste jaoks. Pakkudes laia ülevaate MEMS-i maastikust, on see hindamatu ressurss kõigile, kes töötavad MEMS-i rakenduste arendamise ja turustamise nimel.