MEMS - 9781466515819

Per pastarąjį dešimtmetį mikroelektromechaninių sistemų (MEMS) pramonė smarkiai išaugo. Taikoma įvairi: nuo akselerometrų ir giroskopų, naudojamų automobilių saugai, iki didelio tikslumo į lustą integruotų generatorių, skirtų atskaitos generavimui ir mobiliesiems telefonams. MEMS: Fundamental Technology and Applications sujungia novatoriškus MEMS technologijos tyrimus ir tiria eklektišką naujų taikomųjų programų rinkinį, kurį įgalina ši technologija. Knygoje pateikiami geriausių pramonės ir akademinės bendruomenės ekspertų iš viso pasaulio įnašai. Dalyviai paaiškina teorinį pagrindą ir pateikia praktinių įžvalgų apie technologijos pritaikymą. Nuo istorinės nano mikrosistemų evoliucijos iki naujausių tendencijų, jie gilinasi į tokias temas, kaip: Plonasluoksniai integruoti pasyvieji elementai kaip alternatyva atskiriems pasyviems elementams Pjezoelektrinių MEMS sprendimų galimybė MEMS giroskopams Pažangios sujungimo technologijos Aplinkos energijos surinkimas Masinis akustinių bangų rezonatorius Ultragarsinis imtuvas matricos, kuriose naudojami MEMS jutikliai Optiniai MEMS spektrometrai MEMS rezonatorių integravimas su įprastine grandine Nešiojamo inercinio ir magnetinio MEMS jutiklio mazgas, skirtas įvertinti standžius kūno judėjimo modelius Belaidžiai mikropavaros, leidžiančios implantuoti MEMS įrenginius vaistų tiekimui MEMS technologijos, skirtos lytėjimo jutimui ir aktyvavimui robotikoje MEMS pagrįsti mikro kaitvietės įrenginiai Inerciniai matavimo vienetai su integruota belaidžio ryšio grandine, kad būtų galima patogiai ir nuolat stebėti. Jutikliai, naudojantys pasyvius akustinius-elektrinius prietaisus laidinėse ir belaidėse sistemose. būdas naujoms programoms. Siūlantis platų MEMS kraštovaizdžio vaizdą, tai yra neįkainojamas šaltinis kiekvienam, kuris kuria ir komercializuoja MEMS programas.