MEMS - 9781466515819

Mikroelektromehānisko sistēmu (MEMS) nozare pēdējo desmit gadu laikā ir piedzīvojusi strauju izaugsmi. Pielietojums ir no akselerometriem un žiroskopiem, ko izmanto automobiļu drošībā, līdz augstas precizitātes mikroshēmā integrētiem oscilatoriem atsauces ģenerēšanai un mobilajiem tālruņiem. MEMS: Fundamental Technology and Applications apvieno revolucionārus pētījumus MEMS tehnoloģijā un pēta eklektisku jaunu lietojumu kopumu, ko nodrošina šī tehnoloģija. Grāmatā ir iekļauti vadošie nozares un akadēmisko aprindu eksperti no visas pasaules. Autori izskaidro teorētisko pamatojumu un sniedz praktiskus ieskatus par tehnoloģijas pielietošanu. No nano mikrosistēmu vēsturiskās evolūcijas līdz jaunākajām tendencēm viņi iedziļinās tēmās, tostarp: Plānās plēves integrētās pasīvās kā alternatīva diskrētajām pasīvām; pjezoelektrisko MEMS risinājumu iespēja MEMS žiroskopiem Uzlabotas starpsavienojumu tehnoloģijas Apkārtējās enerģijas ieguve Lielapjoma akustisko viļņu rezonatori Ultraskaņas uztvērējs masīvi, izmantojot MEMS sensorus Optiskie MEMS spektrometri MEMS rezonatoru integrācija ar tradicionālajām shēmām Valkājams inerciāls un magnētisks MEMS sensoru komplekts, lai novērtētu stingras ķermeņa kustības modeļus Bezvadu mikroizpildītāji, lai iespējotu implantējamas MEMS ierīces zāļu piegādei MEMS tehnoloģijas taustes sensoriem un iedarbināšanai robotikā Uz MEMS balstītas mikro plītiņu ierīces Inerciālas mērvienības ar integrētu bezvadu shēmu, lai nodrošinātu ērtu, nepārtrauktu uzraudzību Sensori, kas izmanto pasīvās akustiskās-elektriskās ierīces vadu un bezvadu sistēmās Visā laikā līdzstrādnieki identificē izaicinājumus un uzdod jautājumus, kas jāatrisina, nodrošinot veids jaunām lietojumprogrammām. Piedāvājot plašu skatu uz MEMS ainavu, tas ir nenovērtējams resurss ikvienam, kas strādā, lai izstrādātu un komercializētu MEMS lietojumprogrammas.