Ion Implantation: Basics to Device Fabrication - 9780792395201

tym tekście przedstawiono zbiór badań dotyczących kilku aspektów implantacji jonów, w tym podstawowe informacje na temat fizyki urządzeń, implanterów jonów, implantów kanałowych, plastyczności, uszkodzeń i ich wyżarzania, a także szereg innych tematów. Szczególną uwagę zwrócono na techniki, które zapewniają: dwuwymiarowe profile uszkodzeń i domieszek, staranną obróbkę urządzeń na bazie krzemu, kontrolę napięcia progowego, płytkie złącza, kontrolę czasu życia nośników mniejszościowych za pomocą implantów jonów metali oraz implanty wysokoenergetyczne. podane w tej pracy. Książka ta, oparta na kursie poprzedzającym odbywającą się dwa razy w roku konferencję dotyczącą technologii implantacji jonów, powinna stanowić cenne źródło informacji dla fizyków, chemików, materiałoznawców, zajmujących się przetwórstwem, produkcją urządzeń, projektowaniem urządzeń i inżynierów zajmujących się wiązką jonów zainteresowanych dowolnymi aspektami implantacji jonów, a także tekst dodatkowy do kursu magisterskiego na ten temat.