Ion Implantation: Basics to Device Fabrication - 9780792395201

Selles tekstis esitatakse kogumik uurimusi, mis käsitlevad ioonide implanteerimise mitmeid aspekte, sealhulgas põhiteavet seadmete füüsika, ioonimplantaatorite, implantaatide suunamise, saagise, kahjustuste ja selle lõõmutamise kohta, lisaks paljudele muudele teemadele. Erilist tähelepanu on pööratud nendele tehnikatele, mis tagavad: kahemõõtmelised kahjustuste ja lisandite profiilid, ränipõhiste seadmete hoolikas käsitlemine, lävipinge reguleerimine, madalad ristmikud, vähemuskandja eluea kontroll metalliioonimplantaatide abil ja suure energiaga implantaadid. antud töös. Tuginedes kaks korda aastas toimuvale ioonide implanteerimise tehnoloogia konverentsile eelnevale kursusele, peaks see raamat olema väärtuslik viide füüsikutele, keemikutele, materjaliteadlastele, töötlemise, seadmete tootmise, seadmete disaini ja ioonkiirte inseneridele, kes on huvitatud ioonide implanteerimise mis tahes aspektist. teisene tekst selle teema kraadiõppe jaoks.