Precision Nanometrology - 9781849962537

Nanometrologia precyzyjna opisuje nową dziedzinę nanometrologii precyzyjnej, która odgrywa ważną rolę w produkcji półprzewodników, elementów optycznych, części precyzyjnych i podobnych elementów w skali nano. Szczególną uwagę zwraca na pomiary form powierzchni precyzyjnych detali oraz na ruchy etapowe maszyn precyzyjnych. Pierwsza połowa książki poświęcona jest opisowi czujników optycznych do pomiaru kąta i przemieszczenia, które są wielkościami podstawowymi w nanometrologii precyzyjnej. W drugiej połowie zaprezentowano szereg skaningowych systemów pomiarowych form powierzchniowych i ruchów scenicznych. Omawiane systemy obejmują: * algorytmy separacji błędów oraz systemy pomiaru prostoliniowości i okrągłości, * pomiar mikroasferyki, * systemy oparte na mikroskopii z sondą skanującą, * systemy skaningowego czujnika obrazu. Nanometrologia precyzyjna przedstawia podstawowe i praktyczne technologie nanometrologii precyzyjnej z pomocnym wyborem algorytmów, instrumentów i danych eksperymentalnych. Będzie to korzystne dla badaczy, inżynierów i studentów studiów podyplomowych zajmujących się inżynierią precyzyjną, nanotechnologią i produkcją.