Precision Nanometrology - 9781849962537

Täppis-nanometroloogia kirjeldab uut täppis-nanometroloogia valdkonda, mis mängib olulist rolli pooljuhtide, optiliste elementide, täppisosade ja sarnaste esemete nanomõõtmelises tootmises. See pöörab erilist tähelepanu täppistooriku pinnavormide mõõtmisele ja täppismasinate liikumiste lavastamisele. Raamatu esimene pool on pühendatud nurga ja nihke mõõtmiseks mõeldud optiliste andurite kirjeldamisele, mis on täppis-nanometroloogia põhisuurused. Teises pooles esitletakse mitmeid skaneerivaid mõõtesüsteeme pinnavormide ja lavaliigutuste jaoks. Arutletud süsteemide hulka kuuluvad: * veaeraldusalgoritmid ja -süsteemid sirguse ja ümaruse mõõtmiseks, * mikro-asfäärilisuse mõõtmine, * skaneeriva sondi mikroskoopial põhinevad süsteemid ja * skaneerivad kujutise andurisüsteemid. Täppisnanometroloogia esitleb täppisnanometroloogia põhilisi ja praktilisi tehnoloogiaid koos kasuliku algoritmide, instrumentide ja katseandmete valikuga. See on kasulik teadlastele, inseneridele ja kraadiõppe üliõpilastele, kes on seotud täppistehnika, nanotehnoloogia ja tootmisega.