Technology CAD - Computer Simulation of IC Processes and Devices - 9780792393795

Sparti integrinių grandynų technologijos raida ir spartus augimas padarė didelį poveikį visuomenei. Integrinės grandinės (IC) naudojamos visuotinai, o besiplečiantis IC technologijos panaudojimas reikalauja tikslesnių grandinių analizės metodų ir įrankių, todėl į projektavimo procesą reikia įtraukti kompiuterius. Šios knygos tikslas – sukurti tvirtą pagrindą naudojant kompiuterinius metodus kuriant IC įrenginius ir procesus. Pabrėžiami tiek praktiniai, tiek analitiniai požiūriai, siekiant suteikti skaitytojui žinių, reikalingų įvertinti CAD įrankius ir jaustis patogiai juos naudojant. Šiame darbe pristatomas diskursas apie proceso ir įrenginio CAD kaip tarpusavyje susijusius dalykus, remiantis įvairia SUPREM programos patirtimi ir pritaikymais. 1 skyriuje pagrindinis dėmesys skiriamas susieto proceso ir įrenginio CAD motyvacijai. 2 skyriuje pristatomas SUPREM III, o procesas CAD aptariamas jonų implantacijos, priemaišų difuzijos ir oksidacijos modelių požiūriu. 3 skyriuje pristatoma Stanfordo įrenginių analizės programa SEDAN III (SEmiconductor Device ANalysis). Kituose trijuose skyriuose išsamiau aptariami įrenginio veikimo principai ir analizės metodai. 4 skyriuje apžvelgiama klasikinė pn sandūros teorijos formuluotė ir naudojama prietaisų analizė (SEDAN), siekiant įvertinti kai kurias klasikines prielaidas ir ištirti sudėtingą aukšto lygio įpurškimo problemą. 5 skyriuje grįžtama prie MOS įrenginių, apžvelgiama pirmosios eilės MOS teorija ir pristatomi kai kurie svarbūs antrosios eilės efektai. 6 skyriuje aptariamas bipolinis tranzistorius. 7 skyriuje aptariamas procesų modeliavimo ir prietaisų analizės taikymas technologijų projektavimui. BiCMOS procesas pasirinktas kaip naudinga dizaino priemonė dėl dviejų priežasčių. Pirma, tai leidžia skaitytojui surinkti sąvokas iš visos knygos ir, antra, būdingas BiCMOS technologijos pobūdis siūlo tikrus suvaržymus, taigi ir kompromisus, kuriuos reikia suprasti ir į juos atsižvelgti.