Nonthermal Plasma Chemistry and Physics - 9781420059168

Oprócz wprowadzenia podstaw fizyki plazmy, Chemia i fizyka plazmy nietermicznej stanowi obszerną prezentację najnowszych osiągnięć w szybko rozwijającej się dziedzinie chemii plazmy nietermicznej. Książka zawiera szczegółowe omówienie podstaw reakcji chemicznych i modelowania plazmy, nietermicznych źródeł plazmy, odpowiednich technik diagnostycznych i wybranych zastosowań. Wyjaśniając wzajemne powiązania i trendy, książka skupia się na podstawowych zasadach i ilustracjach w szerokim zakresie zastosowań. Eksperci współautorzy zajmują się środowiskowymi aspektami chemii plazmy. Książka zawiera również wybrane warunki plazmy i specyficzne zastosowania w chemii plazmy objętościowej i obróbce powierzchni materiałów, takie jak trawienie plazmowe w mikroelektronice, chemiczna modyfikacja powierzchni polimerów i osadzanie funkcjonalnych cienkich warstw. Książka Chemia i fizyka plazmy nietermicznej, przeznaczona dla studentów fizyki plazmy, stanowi zwięzłe źródło informacji także dla specjalistów w tej i pokrewnych dziedzinach badań.