Plasma Charging Damage - 9781852331443

See raamat annab põhjaliku, põhjaliku ja ajakohase ülevaate plasma laadimise kahjustuste teemast kaasaegses VLSI vooluringide tootmises. See on kirjutatud nii algajatele kui ka praktikutele. Algajatele pakub see raamat hõlpsasti jälgitavat ja ühtset selgitust erinevate laadimiskahjustuste nähtuste kohta, mille eesmärk on anda neile kindel alus VLSI tootmisel esinevate tegelike kahjustuste lahendamiseks. Praktikute jaoks võib see aidata ületada lõhet erialade vahel, pakkudes kõiki vajalikke taustmaterjale ühes kohas. Tuginedes autori laiaulatuslikele kogemustele plasmateaduse, töötlemistehnoloogiate, seadmete füüsika ja töökindluse füüsika alal, sisaldab tekst teavet järgmise kohta: - plasma ja plasmakahjustuste mehhanismid, - õhukeste paisoksiidide kulumine ja lagunemine, - töötlemisseadmete mõju kahjustustele, - kahjustuste mõõtmise meetodid, - kahjustuste juhtimine, - gate-oksiidi skaleerimine.