Plasma Processing of Nanomaterials - 9781439866764

Oleme kriitilises evolutsioonipunktis madala temperatuuriga plasmade uurimisel ja arendamisel, mis on muutunud oluliseks nanomõõtmeliste materjalide sünteesimiseks ja töötlemiseks. Üha enam tööstusharusid sõltuvad integreeritud väikesemahuliste seadmete väljatöötamisel üha enam plasmatehnoloogiast, kuid kasvu füüsilised piirangud ja muud väljakutsed ohustavad edasiminekut. Nanomaterjalide plasmatöötlus on põhjalik juhend plasmapõhiste keemiliste protsesside kunsti ja teaduse kohta, mida kasutatakse nanomõõtmeliste materjalide, nagu nanoosakesed, süsinik-nanotorud ja pooljuht-nanojuhtmed, sünteesimiseks, töötlemiseks ja modifitseerimiseks. Plasmatehnoloogia võimaldab laia valikut akadeemilisi ja tööstuslikke rakendusi sellistes valdkondades nagu elektroonika, tekstiil, autotööstus, lennundus ja biomeditsiin. Hea näide on pooljuhtide tööstus, kus insenerid tegid mikroelektroonikas revolutsiooni, kasutades plasmasid õhukeste kilede sadestamiseks ja söövitamiseks ning integraallülituste valmistamiseks. Ülevaade plasmatöötluse edusammudest ja tulevasest potentsiaalist, see viide illustreerib peamisi eksperimentaalseid ja teoreetilisi aspekte, esitades praktilisi näiteid: Nanomastaabis söövitus/õhukeste kilede sadestamine Süsinik-nanotorude ja pooljuht-nanojuhtmete katalüütiline kasv Räni nanoosakeste süntees Süsiniknanotorude funktsionaliseerimine Iseorganiseerunud nanostruktuurid Nanoelektroonikas, fotogalvaanikas ja muudes esilekerkivates valdkondades on oodata olulisi edusamme, kuna plasmatehnoloogiat optimeeritakse veelgi, et parandada täpselt määratletud suuruse, kuju ja koostisega nanomaterjalide rakendamist. Liikudes eemale tavapärasest keskendumisest keemias ja füüsikas omaks võetud märgadele tehnikatele, heidab autor valgust väiksema plasmakogukonna pöördelistele läbimurretele. See ressurss, mis on kirjutatud mitmekesisele publikule, kes töötab nanoelektroonikast ja energiaanduritest kuni katalüüsi ja nanomeditsiinini, aitab lugejatel parandada nanomaterjalide arendamist ja rakendamist oma töös. Teave autori kohta: R. Mohan Sankaran pälvis Ameerika Vaakumiühingu 2011. aasta Peter Marki mälestusauhinna silmapaistva panuse eest tandemplasmasünteesis.